技術編號：2754639
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種在157nm波長下透射率大于50％，優(yōu)選透射率大于55％的無定形全氟化聚合物。該聚合物不含不穩(wěn)定的離子端基，特別是COF、COOH或者它們相應的酯類、鹽類或酰胺酸衍生物，該端基由下面報道的方法所測定。更具體地說，本發(fā)明涉及含有特定的環(huán)狀全氟化結構的無定形全氟化聚合物。正如所說的，該聚合物的特征在于在157nm波長下具有高透射率，它在157nm下通過顯微光刻技術在半導體生產(chǎn)中可用作保護膜。眾所周知，要使無定形全氟化聚合物可用于顯微光刻應用，該聚...
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