技術編號：2755747
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種化學放大型正性光致抗蝕劑組合物以及涉及一種形成抗蝕劑圖案的方法。本申請要求日本專利申請2003-144700(2003年5月22日申請)和日本專利申請2003-426503(2003年12月24日申請)的優(yōu)先權，它們的公開內容并入此處參考。背景技術 如果是傳統(tǒng)酚醛清漆-萘醌二疊氮化物抗蝕劑，那么使用高分子量堿溶樹脂(例如，酚醛清漆樹脂)的方法通常被用以制備具有高耐熱性能的抗蝕劑組合物。使用低分子量樹脂的方法也被利用以使獲得高靈敏度。然而，難于...
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