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杯芳烴混合分子玻璃光致抗蝕劑及使用方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2755936

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發(fā)明背景 本發(fā)明涉及杯芳烴混合分子玻璃光致抗蝕劑,更具體地,涉及包含至少一種未保 護(hù)的杯芳烴和至少一種完全保護(hù)的杯芳烴的混合物(blend)的正型(positive tone)光致 抗蝕劑組合物。由于最小臨界尺寸(minimum critical dimension)持續(xù)縮小至小于50納米 (nm),同時(shí)滿足臨界性能標(biāo)準(zhǔn)、靈敏度、分辨率和線邊緣粗糙度(LER)正變得越來(lái)越困難。 通常在化學(xué)放大光致抗蝕劑中采用的聚合物的大小開(kāi)始影響在這些尺寸下的性能。例如,...
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