技術編號：2755940
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及光刻，尤其涉及一種用于雙環(huán)形均勻照明的自由曲面透鏡。 背景技術隨著半導體技術的發(fā)展和芯片集成度的提高，光刻工藝不斷向前發(fā)展并一再突破 分辨率極限，如何進一步提高投影光刻系統(tǒng)的分辨率和焦深，提高投影光刻機的性能成了 關注的熱點?？s短曝光波長、增大投影物鏡的數值孔徑、減小工藝因子都可達到提高分辨率 的目的，但同時又制約了焦深的增大。采用分辨率增強技術是解決上述問題的主要途徑之ο離軸照明是近年來投影光刻系統(tǒng)中常采用的一種分辨率增強技術。常見的離軸照 明...
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