技術(shù)編號：2756891
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種高分辨率非球面光刻物鏡，屬于高分辨力投影光刻物鏡技術(shù)領(lǐng) 域。背景技術(shù)光刻是一種集成電路制造技術(shù)，利用光學(xué)的方法將掩膜版上的電路圖形轉(zhuǎn)移到 硅片上，幾乎所有集成電路的制造都是采用光學(xué)光刻技術(shù)。最初，半導(dǎo)體器件制造，采用 的是掩模與硅片貼在一起的接觸式光刻技術(shù)。1957年，接觸式光刻技術(shù)實現(xiàn)了特征尺寸 (Feature Size) ^J 20 μ m W^^^IiiL^fil^ DRAM (Dynamic Random Access Memory...
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