技術(shù)編號(hào)：2759602
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微電子裝備，尤其涉及ー種雙エ件臺(tái)交換結(jié)構(gòu)及其交換方法。 背景技術(shù)雙エ件臺(tái)技術(shù)的特點(diǎn)是ー個(gè)エ件臺(tái)掃描測量，同時(shí)，另一個(gè)エ件臺(tái)掃描曝光，這樣既能提高產(chǎn)率，又能保證測量時(shí)間、提高測量精度。美國專利US6^2796B1披露了一種雙エ件臺(tái)交換方式第一エ位的エ件臺(tái)和第二 エ位的エ件臺(tái)通過交換系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)第一位置和第二位置的交換，兩個(gè)エ件臺(tái)采用側(cè)掛式，以實(shí)現(xiàn)雙臺(tái)交換。但該交換結(jié)構(gòu)中長行程X向偏質(zhì)心驅(qū)動(dòng)，氣浮結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)困難，而且兩個(gè)エ件臺(tái)要求同步控制交換，如果其中一個(gè)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。