技術(shù)編號(hào)：2760127
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及可特別有效地用于浸沒(méi)式光刻過(guò)程的新穎的光刻膠組合物。本發(fā)明優(yōu)選的光刻膠組合物包含一種或多種基本不能與光刻膠中的樹脂組分混合的材料。在浸沒(méi)式光刻過(guò)程中使用本發(fā)明特別優(yōu)選的光刻膠，表現(xiàn)出光刻膠材料向與光刻膠層接觸的浸沒(méi)液中的浸出有所減少。背景技術(shù) 光刻膠是用來(lái)將圖像轉(zhuǎn)印到基材上的光敏膜。在基材上形成了光刻膠涂層之后，通過(guò)遮光模使光刻膠層曝光于活化輻射源之下。遮光模有些區(qū)域?qū)罨椛涫遣煌该鞯?，其它區(qū)域是透明的。曝光于活化輻射使得光刻膠涂層發(fā)生光致化學(xué)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。