技術(shù)編號(hào)：2764746
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于半導(dǎo)體元件等制造的光刻膠組合物，更詳細(xì)地為涉及用300nm以下的遠(yuǎn)紫外線(xiàn)，例如KrF受激準(zhǔn)分子激光(248nm)等或電子射線(xiàn)等作為曝光能源用于形成陽(yáng)型圖形的光刻膠組合物。另外。還涉及通過(guò)具有一定程度的穩(wěn)定性的酸來(lái)斷開(kāi)主鏈，分解到低分子量，能夠容易地去除的樹(shù)脂組合物。背景技術(shù) 以往，作為用于半導(dǎo)體元件等制造的光刻膠組合物中的一種，公知的有堿性可溶性樹(shù)脂、酸發(fā)生劑以及具有酸不穩(wěn)定基的溶解性控制劑的化學(xué)增幅型光刻膠。這些組合物，通過(guò)照射紫外線(xiàn)、電子...
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