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用于光學(xué)投影系統(tǒng)中的薄膜可致動反射鏡陣列的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2765893

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本項發(fā)明涉及到一種光學(xué)投影系統(tǒng),尤其涉及到用于此系統(tǒng)的薄膜可致動反射鏡M×N陣列。在已有的各種影象顯示系統(tǒng)中,光學(xué)投影系統(tǒng)公知為能夠提供高質(zhì)量的大屏幕顯示。在這樣一種光學(xué)投影系統(tǒng)中,燈光被均勻地照射在例如M×N的一個可致動反射鏡陣列上,在那里每個反射鏡均與一個致動器相連接。這些致動器可以是由一種電致位移材料制做的,例如壓電或電致伸縮材料,這種材料可隨著向其提供的電場而產(chǎn)生形變。來自各反射鏡的反射光束入射到例如一個光欄的小孔上。通過把一電信號施加于各致動器上...
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