技術編號：2767921
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種可以抑制在半導體晶片或FPD(Flat Panel Display)用玻璃基板等被處理基板的表面產生水印的基板清洗方法以及基板清洗裝置，用于使該基板清洗方法在基板清洗裝置中執(zhí)行的計算機程序、以及記錄該計算機程序的程序存儲介質。背景技術 例如，在半導體設備的制造工序中，由于需要總是保持半導體晶片的表面清潔，所以對半導體晶片實施適當?shù)那逑刺幚?。作為對半導體晶片進行單片處理的單片式清洗處理的典型例子，已知下述處理方法向保持于旋轉夾盤的半導體晶片供給...
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