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包括由具有相同晶體結(jié)構(gòu)和成長(zhǎng)方向的材料制成的引晶部件和電顯示部件的薄膜致動(dòng)反射鏡的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2770175

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本發(fā)明涉及一種薄膜致動(dòng)反射鏡的陣列,特別是每個(gè)薄膜致動(dòng)反射鏡包括一個(gè)引晶部件和一個(gè)電顯示部件(electrodisplacive),該引晶部件和電顯示部件由具有相同晶體結(jié)構(gòu)和成長(zhǎng)方向的材料制成,還涉及用于形成該薄膜致動(dòng)反射鏡陣列的方法。 背景技術(shù) 在現(xiàn)有技術(shù)中使用的各種視頻顯示系統(tǒng)中,能夠以大尺寸提供高質(zhì)量顯示的光學(xué)投影系統(tǒng)是公知的。在這樣的光學(xué)投影系統(tǒng)中,來(lái)自一個(gè)燈的光線均勻地照亮到一個(gè)致動(dòng)反射鏡陣列上,其中,每個(gè)反射鏡同各自的致動(dòng)器相連接。這些致動(dòng)器可...
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