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利用等離子體選擇性地去除涂覆于形成在襯底上的負型光致抗蝕劑上的聚酰亞胺配向?qū)?...的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2771723

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本發(fā)明涉及一種對用于LCD(液晶顯示器)或者TFT(薄膜晶體管)-LCD的玻璃襯底進行再利用的方法,特別涉及一種通過利用等離子體選擇性地去除涂覆于形成在玻璃襯底上的負型光致抗蝕劑之上的聚酰亞胺有機配向?qū)?alignment layer)來再利用玻璃襯底的方法。背景技術(shù) 隨著各種平面顯示器件的發(fā)展,LCD和TFT-LCD得到了更多的發(fā)展和制造。這種LCD器件主要包括玻璃襯底以及在襯底相面對的內(nèi)側(cè)上形成的電極。在電極上形成有柱狀間隔物(post spacer)...
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