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圖案化金屬層的方法與金屬內(nèi)連線的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2771964

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本發(fā)明涉及一種半導體制程,特別是涉及一種。背景技術(shù) 在半導體產(chǎn)業(yè)中,集成電路(Integrated Circuits,IC)的生產(chǎn),主要可以分為三個階段集成電路設計(IC design)、集成電路的制作(ICprocess)及集成電路的封裝(IC package)。其中,裸晶片(Die)是經(jīng)由晶圓(Wafer)制作、電路設計、多道光罩制作以及切割晶圓等步驟而完成。晶圓具有一主動表面(Active surface),其是泛指晶圓上具有主動元件(Actived...
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