技術(shù)編號：2772431
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光刻投影裝置，包括輻射系統(tǒng)，可提供投影光束；支承結(jié)構(gòu)，用來支承圖案形成機構(gòu)，該圖案形成機構(gòu)根據(jù)希望的圖案使投影光束形成所需要的圖案；基片臺，用來固定基片；和投影系統(tǒng)，用來將形成圖案的光束投射到基片的目標(biāo)部分；液體供應(yīng)系統(tǒng)，可使液體充滿所述投影系統(tǒng)的終端件和所述基片之間的空間，和測量系統(tǒng)，可測量所述基片上各點的位置。背景技術(shù) 本文使用的術(shù)語“圖案形成機構(gòu)”應(yīng)廣義地理解為可用來使入射光束的斷面形成圖案的裝置，該圖案對應(yīng)于在基片目標(biāo)部分產(chǎn)生的圖案；...
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