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用于防蝕涂層的油墨組合物、使用該油墨組合物形成防蝕涂層圖案的方法、以及使用該油 ...的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2773396

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本發(fā)明涉及一種用于防蝕涂層的油墨組合物,使用該油墨組合物形成防蝕涂層圖案的方法,以及使用該油墨組合物形成微通道的方法。背景技術(shù) 防蝕涂層是一種通過蝕刻用于形成圖案的防蝕薄膜,其主要用于半導體電路和印刷電路板的制造工藝中。在這類制造工藝中,光反應性的光刻膠通常用作防蝕涂層。現(xiàn)將描述使用光刻膠形成防蝕涂層圖案的方法。首先,在通過旋涂或類似方法要形成圖案的表面上涂覆液體光刻膠,以形成膜?;蛘?,可通過附著或使用類似方法將干光刻膠膜設置于表面上。然后,將紫外線、電子...
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