技術(shù)編號：2773807
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及曝光裝置，更詳細地涉及能夠提高照明效率并且能夠均勻曝光的曝光裝置。背景技術(shù) 用來自光源的光照明照明LCD(液晶元件)和DMD(數(shù)字微鏡器件)等的2維空間光調(diào)制元件(以下稱為2維SLM)，具有該照明光學系統(tǒng)在感光材料上進行由2維SLM控制的光像的曝光的曝光裝置是眾所周知的。在這種曝光裝置中，需要均勻地照明2維SLM，可以將光積分器用于照明光學系統(tǒng)，除了曝光裝置以外一般也可以用于投影儀中。(例如，請參照專利文獻1)。光積分器是通過分割光束，經(jīng)過不同的...
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