技術(shù)編號：2776650
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及高數(shù)值孔徑的和浸沒式的光刻。背景技術(shù) 高分辨率的印刷圖形不斷增加對光刻工具和技術(shù)的要求。例如，在半導體印?；蛐酒?、電路特性圖形如線路、接觸孔的制造中，常常需要高分辨率的印刷，以改進電路單元的組裝密度，降低圖形中的孔距。某些電路特性，如接觸孔或叫通孔，是特別難制造的。涉及光刻分辨率的熟知的參數(shù)，是臨界尺寸(CD)。當用給定技術(shù)制造半導體裝置和電路時，CD是能夠形成的最小幾何特性的大小。臨界尺寸可以按下面所示函數(shù)描述CD＝k(λ/NA)這里λ是光刻中...
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