技術(shù)編號：2776789
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明大體而言涉及微機電裝置，且更具體而言，涉及用于顯示系統(tǒng)中 的微鏡陣列裝置。背景技術(shù)微鏡陣列是基于微機電系統(tǒng)(MEMS)的空間光調(diào)制器(SLM)的主要組件。SLM 是傳感器，其用于以對應(yīng)于光或電輸入的空間圖案來調(diào)制入射光束。典型的基于 MEMS的SLM由可單獨尋址的微鏡陣列組成。每一微鏡由附裝至可變形鉸鏈上的可 偏轉(zhuǎn)反射鏡板組成，所述可變形鉸鏈形成于襯底上以使得鏡板可在襯底上旋轉(zhuǎn)。通過 靜電力可使每一單獨的鏡板獨立偏轉(zhuǎn)。靜電力源自于在鏡板與電極之間形成...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。