技術編號：2778016
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及具有包括薄膜晶體管(下文稱作TFT)的電路的半導體裝置以及用于制造該裝置的方法。例如，本發(fā)明涉及其上安裝了光電裝置(以液晶顯示面板為代表)作為其部件的電子裝置，或者其上安裝了具有有機發(fā)光元件的發(fā)光顯示裝置作為其部件的電子裝置。根據(jù)本說明書，半導體裝置是指一般而言通過使用半導體屬性工作的裝置。光電裝置、半導體電路以及電子裝置都包括在半導體裝置之內(nèi)。背景技術 近年來，通過使用形成在具有絕緣表面的襯底上的半導體薄膜(厚度大約幾納米至幾百納米)來制造薄膜...
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