技術(shù)編號:2778811
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于信息,特別是涉及一種用于單光束全息干涉方法制備各種光子晶體微結(jié)構(gòu)的折射光學(xué)元件的設(shè)計加工。背景技術(shù) 光子晶體是實現(xiàn)各種高效光子集成器件的新型人工微結(jié)構(gòu)材料,其制備方法包括半導(dǎo)體刻蝕技術(shù)、多光子聚合技術(shù)、化學(xué)自組裝以及全息多光束干涉方法等。其中全息多光束干涉方法制備簡便、速度快、重復(fù)性好,適用于大面積、大規(guī)模生產(chǎn)。理論證明,降低光子晶體結(jié)構(gòu)的對稱性,光子晶體表現(xiàn)出不同尋常的寬光子帶隙特性,從而提高光子晶體的光功能特性。這些以降低光子晶體結(jié)構(gòu)對稱性有...
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