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維修方法及其裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2778984

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本發(fā)明涉及向例如在液晶顯示器(以下稱為L(zhǎng)CD)的玻璃基板、半 導(dǎo)體晶片、印刷基板等上產(chǎn)生的缺陷部照射激光來(lái)進(jìn)行維修的維修方法 及其裝置。背景技術(shù)在LCD制造工序中,進(jìn)行針對(duì)在光刻(photolithography)處理工序 中所處理的玻璃基板的各種檢查。作為該檢查結(jié)果,當(dāng)在形成于玻璃基 板上的抗蝕劑圖形或蝕刻圖形中檢測(cè)出缺陷部時(shí),對(duì)該缺陷部照射激光 來(lái)進(jìn)行缺陷部的維修。作為維修方法,例如有分別記載于專利文獻(xiàn)1和2中的技術(shù)。在專利文獻(xiàn)1中記載有如下的技術(shù)將從...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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