技術(shù)編號(hào)：2778993
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及具有階梯形狀的。 背景技術(shù)近年來，根據(jù)周期性的細(xì)微形狀控制光的行進(jìn)方向和相位的衍射光 學(xué)元件的需求在增加。衍射光學(xué)元件的形狀有多種，其中，斷面是鋸齒 形狀的衍射光學(xué)元件，其邏輯衍射效果高，而實(shí)際上，近似該鋸齒形狀 的階梯形狀的衍射光學(xué)元件容易制作而被廣泛使用。 一般，作為制造具 有階梯形狀的衍射光學(xué)元件的方法，有如下述非專利文獻(xiàn)1記載的方法，該方法通過利用半導(dǎo)體的微加工技術(shù)，使用m (m是自然數(shù))張掩模來 反復(fù)進(jìn)行曝光、顯影、蝕刻的一系列處理，制...
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