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利用檔片圖案制造活動(dòng)區(qū)以穩(wěn)定黃光制程的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2780157

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本發(fā)明是有關(guān)一種用以穩(wěn)定黃光制程的方法,特別是關(guān)于一種利用檔片圖案(dummy Pattern)制造活動(dòng)區(qū)來(lái)穩(wěn)定黃光制程的方法,以簡(jiǎn)化黃光制程,并使制程更為穩(wěn)定。目前半導(dǎo)體制造技術(shù),大部分是以傳統(tǒng)的光學(xué)方法曝光,但是由于光學(xué)的波動(dòng)特性,限制了曝光線寬的極限。因此若要達(dá)到較細(xì)的線寬,必須使用波長(zhǎng)較短的光源?,F(xiàn)今半導(dǎo)體工業(yè)所使用的光源波長(zhǎng)已經(jīng)短至248nm,甚至此光源在較為先進(jìn)的制程中,其波長(zhǎng)已經(jīng)達(dá)到干涉的限制,必須使用極為復(fù)雜的相位偏移光罩法(Phase S...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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