技術(shù)編號：2782698
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及激光誘導(dǎo)納米結(jié)構(gòu)，特別是一種，是一種在空氣中采用兩束超短脈沖激光共路垂直照射在材料表面形成周期納米結(jié)構(gòu)的加工方法。本方法適用于在半導(dǎo)體、透明介質(zhì)塊體和薄膜表面誘導(dǎo)規(guī)則的周期結(jié)構(gòu)，制備納米量級光柵。背景技術(shù) 超短脈沖激光加工是一種很有前景的材料加工手段。超短脈沖能夠在局部聚集很高的能量，同時(shí)產(chǎn)生很小的熱效應(yīng)，非常有利于材料的精細(xì)加工，對于一些硬脆及耐腐蝕材料的加工尤其適用。在現(xiàn)有技術(shù)中，目前人們主要采用全息方法刻蝕光柵。人們用兩束同頻率、斜交叉的激...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。