技術(shù)編號：2785412
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型關(guān)于一種光罩搬運裝置，尤指一種適用于可免除人力搬運作業(yè)以避免光罩受到損壞、并可提高半導(dǎo)體元件產(chǎn)能的光罩搬運裝置。背景技術(shù)光罩就是希望將設(shè)計好的線路圖形，完整且精確地復(fù)制到絕緣性基底(例如玻璃基板、硅晶圓)上。半導(dǎo)體元件的制作首先需將設(shè)計好的圖形制作成光罩(photo mask)，應(yīng)用光學(xué)成像的原理，將圖形投影至絕緣性基底上。經(jīng)由光源發(fā)出的光，只有經(jīng)過光罩透明或開孔區(qū)域的部分可以繼續(xù)通過透鏡，而呈像在絕緣性基底上，并進(jìn)行顯影、蝕刻等制程，最后制作出...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。