技術(shù)編號：2785928
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。背景技術(shù) 光刻裝置是將所需圖案施加到基底靶部的設(shè)備。光刻裝置可以用于例如集成電路(ICs)、平板顯示器和其他包含精細(xì)結(jié)構(gòu)的器件的制造。在傳統(tǒng)的光刻裝置中，構(gòu)圖部件，或者稱為掩?；蚍謩澃?，可用于產(chǎn)生相應(yīng)于IC(或其他器件)單層的電路圖案，該圖案可以成像在具有輻射敏感材料(抗蝕劑)層的基底(例如硅片或玻璃板)的靶部上(例如包括部分、一個或者若干電路小片(die))。代替掩模，構(gòu)圖部件可以包括用來產(chǎn)生電路圖案的單獨可控部件陣列。一般，單基底將包含相繼...
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