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一種mems微型高靈敏度磁場(chǎng)傳感器及制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2786866

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本發(fā)明涉及一種微型高靈敏度磁場(chǎng)傳感器的結(jié)構(gòu)及制作方法,具體地說(shuō),是利用半導(dǎo)體微細(xì)加工工藝結(jié)合半導(dǎo)體材料實(shí)現(xiàn)微型高靈敏度磁場(chǎng)傳感器的結(jié)構(gòu)制作。通過(guò)不同的封裝,該器件可以在真空、空氣、水下等多種不同環(huán)境中進(jìn)行磁場(chǎng)探測(cè)。本發(fā)明屬于磁場(chǎng)傳感器領(lǐng)域。背景技術(shù) 磁場(chǎng)傳感器是對(duì)磁信號(hào)或者是對(duì)能轉(zhuǎn)變?yōu)榇判盘?hào)的參數(shù)敏感傳感器,是應(yīng)用最早也是應(yīng)用最廣泛的一類傳感器,我國(guó)四大發(fā)明之一的指南針就是利用此現(xiàn)象的一種傳感器。磁場(chǎng)傳感器在許多領(lǐng)域已經(jīng)獲得了產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,每年的使用量高達(dá)十...
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