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無熱化的光波導(dǎo)集成器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2786924

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本發(fā)明針對光波導(dǎo)集成器件,這種器件中的光傳送特性對溫度變化和波動不敏感。更特別的是,本發(fā)明針對具有含有機(jī)的外包層的無熱平面光波導(dǎo)集成器件,其中的外包層含硅酸鹽玻璃、聚合物和/或雜合的(有機(jī)的/無機(jī)的)溶膠凝膠。背景技術(shù)光波導(dǎo)集成器件,諸如光集成電路,將小型化的波導(dǎo)和光學(xué)器件組合成安裝在小平面基片之上的光學(xué)功能系統(tǒng)。這樣的光波導(dǎo)集成器件舉例來說,通常通過連接光波導(dǎo)纖維而在光通訊系統(tǒng)中使用,該光波導(dǎo)纖維將光信號作為輸入輸出傳送到光波導(dǎo)集成器件。光波導(dǎo)集成器件在...
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