技術(shù)編號：2786937
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及在液晶顯示的濾色器的基片上形成透明導(dǎo)電膜的方法以及采用該方法形成的透明導(dǎo)電膜。背景技術(shù) 添加有錫的氧化銦膜(下面稱為“ITO膜”)通常被用來作為在液晶顯示的濾色器的基片上形成的優(yōu)秀透明導(dǎo)電膜(透明電極膜)。已知的用于形成這種ITO膜的常規(guī)方法包括真空蒸發(fā)法，濺射法和RF(射頻)離子鍍膜法。為了獲得高的分辨率和高的光透過率，彩色液晶顯示的透明導(dǎo)電膜要求是薄的，另外，為了增加尺寸和提高響應(yīng)速度，要求其具有低的電阻率和高的均勻性。采用上述方法的任一種，...
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