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防塵薄膜組件收納容器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2791564

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本發(fā)明涉及在制造半導(dǎo)體裝置、印刷電路板或液晶顯示器等時(shí),作為防塵部件使用的光刻技術(shù)用防塵薄膜組件。背景技術(shù)在大規(guī)模集成電路等的半導(dǎo)體裝置或液晶顯示器等的制造過(guò)程中,將光照射到半導(dǎo)體晶片或液晶用原板上而制造圖案,但此時(shí)有一個(gè)問(wèn)題,即若有灰塵等異物附著于所使用的光掩模或中間光掩模(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為光掩模)上時(shí),因?yàn)檫@些灰塵會(huì)遮蔽光或使光發(fā)生折射,所以會(huì)損害到轉(zhuǎn)印的圖案。所以,這些作業(yè)通常是在無(wú)塵室里進(jìn)行的。但即使如此,也難于保持光掩模的時(shí)常清潔。因此,通常采用在光掩...
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