技術(shù)編號(hào)：2793087
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微納結(jié)構(gòu)制造領(lǐng)域，特別是涉及一種激光干涉光刻系統(tǒng)。 背景技術(shù)表面周期性微納結(jié)構(gòu)，作為一種前沿技術(shù)，已經(jīng)在眾多領(lǐng)域表現(xiàn)出了誘人的應(yīng)用前景，如減反、陷光、防水自清潔、光子晶體等。制作這種表面周期性微納結(jié)構(gòu)的方法通常有電子束刻蝕、納米壓印光刻，但這兩種方法往往成本高，設(shè)備昂貴，不能大面積制備或者制備出來(lái)的表面結(jié)構(gòu)不夠精細(xì)；而激光干涉光刻則能夠以較低的成本大面積制備表面周期性微納結(jié)構(gòu)。激光干涉光刻的基本原理是利用兩束或兩束以上的相干激光疊加照射在樣品表面...
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