技術編號：2793886
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體制造，具體來說，本發(fā)明涉及一種。背景技術在現(xiàn)有技術中，某些光刻機屬于在線(Inline)光刻機類型(與涂膠機、顯影機等連線的)，但是由于半導體代工廠自動化水平等原因，目前很多仍僅作為離線(Offline)光刻機使用(不與其他機臺連線的)，沒有完全發(fā)揮出在線光刻機的全部產(chǎn)能。圖1為現(xiàn)有技術中一個光刻機的平面結構示意圖。如圖所示，該光刻機100可以包括光刻機主體111、機械手臂105和四個晶圓盒進出端口(簡稱端口)101 104。其中， 由于該...
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