技術(shù)編號：2794246
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于激光熱刻蝕光刻領(lǐng)域，具體涉及到一種。背景技術(shù)激光熱刻蝕技術(shù)是2002年由日本的MKuwahara等人提出(參考文獻[1] M. Kuwahara, J. M. Li, C. Mihalcea, N. Atoda, J. Tominaga, L. P. Shi, Jpn. J. Appl. Phys. 2002 ； 41，L1022-L1024.)，該技術(shù)主要利用激光熱刻蝕材料的熱變化閾值效應(yīng)實現(xiàn)超分辨光刻。 首先利用脈沖激光直接輻照熱刻蝕薄膜，熱...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。