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一種靈活耦合的高速光電器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2795994

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本發(fā)明涉及一種光電器件,特別是一種靈活耦合的高速光電器件。 背景技術(shù)光纖及高速發(fā)射接受技術(shù)廣泛應(yīng)用于數(shù)據(jù)通訊、高性能計算機互連和消費電子產(chǎn)品的高速外設(shè)互聯(lián)。在這些器件中,需要將光發(fā)射器件或接收器件與光纖耦合。而光發(fā)射器件或接收器件可能有兩種結(jié)構(gòu)。第一種為波導(dǎo)型,例如波導(dǎo)側(cè)發(fā)光半導(dǎo)體激光器和波導(dǎo)型光電二極管,其光發(fā)射面或接收面與電極處于垂直的平面。另一種為平面型,例如垂直腔表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器(VCSEL)和平面型半導(dǎo)體光電二極管(planar photod...
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