技術(shù)編號：2796027
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)制造，尤其涉及。背景技術(shù)衍射光學(xué)元件是利用光的衍射現(xiàn)象對光波的波前進(jìn)行調(diào)制，從而實(shí)現(xiàn)特定功能的光學(xué)元件的總稱。這些衍射光學(xué)元件通常包括各種光柵、波帶片和光子篩等。它們在微電子光刻技術(shù)、波前整形、光通信、聚焦成像以及微細(xì)加工等領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用。例如，上述衍射光學(xué)元件中的波帶片是具有自聚焦能力的衍射光學(xué)元件，目前的加工工藝可以使其分辨率達(dá)到十幾納米，因此，它可以應(yīng)用到微電子光刻領(lǐng)域。但是，這些傳統(tǒng)的衍射光學(xué)元件的衍射效率較低，大大...
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