技術(shù)編號：2796159
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光學(xué)精密機械領(lǐng)域，特別是一種用于超高真空中實現(xiàn)轉(zhuǎn)角精密傳動裝置及其控制方法。背景技術(shù)在超高真空中，用于光學(xué)腔中光學(xué)元件間相對位置精密掃描的精密傳動機構(gòu)是比較難實現(xiàn)，特別是高精度轉(zhuǎn)角掃描機構(gòu)就更難以實現(xiàn)。以往超高真空光學(xué)腔中光學(xué)元件間相對位置精密掃描采用正弦機構(gòu)時正弦臂上的運動副只是在一短軸上安裝一對軸承來傳遞推桿的位移實現(xiàn)正弦臂的轉(zhuǎn)角變化(正弦臂在正弦機構(gòu)中臂長是恒定值在推桿的位移驅(qū)動下使正弦臂最長端上球體在推桿的斷面上做純滾動推動正弦臂繞轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。