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掩模版及使用掩模版調(diào)式光刻機(jī)套刻精度的匹配方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2797942

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域的制造技術(shù),具體地說(shuō),涉及一種用于光刻制程的 掩模版以及使用該掩模版調(diào)式光刻機(jī)的套刻精度相匹配方法。背景技術(shù)晶圓制造包括前段工藝流程(Front end of line, FEOL )和后段工藝流程(Back endofline,BEOL)。為了提高生產(chǎn)效率或者是企業(yè)自身硬件條件的限制,有些企 業(yè)(以下筒稱(chēng)"提供商,,)只對(duì)晶圓進(jìn)行前段工藝流程做成半成品,而有些企業(yè) (以下簡(jiǎn)稱(chēng)"制造商,,)則買(mǎi)進(jìn)其他企業(yè)的半成品進(jìn)行后段工藝流程加工成成...
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