技術(shù)編號：2798033
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明通常涉及通過補(bǔ)償方法獲得改進(jìn)的圖像的技術(shù)。本發(fā)明尤其涉及一種在一個(gè)空間光調(diào)制器(SLM)中補(bǔ)償缺陷像素的方法，這種方法用于光學(xué)平版印刷術(shù)。本發(fā)明還涉及一種用于以圖案裝飾一個(gè)工件的裝置，這一裝置包括這樣一種方法和一種用于檢測缺陷像素的方法。背景技術(shù) 平版印刷制造可用于集成電路、掩模、光柵、平板顯示器、微機(jī)械或微光學(xué)器件、以及包裝設(shè)備，例如引線框和MCM。平版印刷制造可能涉及一種把一個(gè)主模從一個(gè)計(jì)算機(jī)控制的光柵映像到一個(gè)工件上的光學(xué)系統(tǒng)。一個(gè)合適的工件可...
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