技術(shù)編號：2799013
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于制造液晶顯示裝置的電路、半導(dǎo)體集成電路等微細(xì)電路的光致抗蝕劑組合物，具體地涉及一種通過加入可提高光致抗蝕劑的耐熱性及分辨率的酚醛清漆樹脂(novolak resin)，以獲得具有優(yōu)異的均勻性及粘合性圖案的光致抗蝕劑組合物。背景技術(shù) 為形成液晶顯示裝置的電路或半導(dǎo)體集成電路等微細(xì)電路的圖案，首先在基板上的絕緣膜或金屬導(dǎo)電膜上均勻地涂敷光致抗蝕劑組合物。然后，通過使用預(yù)定形狀的掩膜，使光致抗蝕劑覆膜曝光、顯影，從而形成預(yù)定形狀的圖案。之后，使...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。