技術(shù)編號：2804533
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明描述一種目前所用的用以制造漫射體膜的光掩模的替代品。根據(jù)WO 94/29768或EP-A-0 671 638，漫射體膜是通過將光敏性透明材料(感光聚合物，光納米體(Photo-Nanomer))層壓到照相底片(掩模)上，并穿過該底片用會聚的UV輻射曝光而制備。該感光聚合物或光納米體含有可從該光敏性透明材料的鄰近的未曝光區(qū)擴散到曝光區(qū)內(nèi)的單體或納米級粒子。這樣的材料描述于例如WO 97/38333中。在此，掩模本身由在玻璃層上的攝影明膠構(gòu)成，且預(yù)先經(jīng)過...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。