技術編號：2804944
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及光學系統(tǒng)設計，具體的講是一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準的光學系統(tǒng)。背景技術光學系統(tǒng)設計中，根據(jù)光學設計相應的理論，波段范圍越寬，波段下限越到短波紫外波段，光學設計的難度越大。在近中遠紫外到極遠紫外波段，波段范圍寬，波長短，在此范圍內光學材料的種類變得很少,光譜折射率也很低;一般來說,為了設計較為完善的紫外光學系統(tǒng)，特別是真空紫外光學系統(tǒng)，都要使系統(tǒng)復雜化，利用很多的鏡片來校正像差，以滿足系統(tǒng)需求。這樣做的后果是導致光學系統(tǒng)結構復雜，光能損失嚴重...
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