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可變形鏡光閘裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2807320

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本發(fā)明涉及一種與可變形鏡裝置(DMD8)基本上相似的結(jié)構(gòu),特別涉及一種具有可單獨(dú)偏移的元件的裝置??勺冃午R裝置(DMD8)通常由一懸掛在一陣列或一系列電極之上的反射表面組成。在一些情況下,反射表面是一薄膜,本發(fā)明涉及的DMD8的類(lèi)型是另一種。它的反射表面分成若干可單獨(dú)控制的鏡片,這些鏡片互相分離,這些DMD8通常是這樣制成的在一基底上構(gòu)成一電極陣列;用一聚合物間隔層覆蓋該電極陣列;用金屬覆蓋上述間隔層;而該金屬被制成圖案,以便構(gòu)成入口孔及構(gòu)成單個(gè)鏡片和鉸鏈...
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