技術(shù)編號：2808675
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及基板外觀檢査裝置。 背景技術(shù)以往，公知有如下的基板外觀檢査裝置在制造LCD(液晶顯示器)等的FPD (平板顯示器)時，通過目視來觀察在玻璃基板上產(chǎn)生的缺陷 等。這樣，基于目視的檢查一般也被稱為宏觀觀察，通過將基于宏觀觀 察單元的面光源照射到支承在保持器上的被檢査基板的表面，并利用電 視攝像機拍攝被檢查基板表面的反射光的變化，從而進行基于宏觀觀察 的外觀檢查(例如參照專利文獻1的圖6)。專利文獻1日本特開平10-111253號公報但是，在上述專利文...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。