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長(zhǎng)波平面型光電探測(cè)器微型球透鏡制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2813732

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本發(fā)明涉及一種微型球透鏡的制作方法,應(yīng)用于長(zhǎng)波平面型光電探測(cè)器微型球透鏡的制作。背景技術(shù) 制作長(zhǎng)波平面型光電探測(cè)器的常規(guī)方法是在化合物半導(dǎo)體(如InP等)單晶襯底上,外延生長(zhǎng)各外延層獲得了外延晶片,通過(guò)在外延晶片上進(jìn)行各種半導(dǎo)體器件制作工藝制作成光電探測(cè)器管芯。入射光從外延層表面照射到光電探測(cè)器的光敏面(正照)時(shí),其能量被吸收后,躍遷形成光生載流子,并以飽和速度漂移穿過(guò)耗盡層,在外電路產(chǎn)生光電流,實(shí)現(xiàn)光電轉(zhuǎn)換。為了提高光電探測(cè)器的頻響特性,目前的光電探測(cè)器...
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