技術編號：2815320
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬于定位確認裝置領域，尤其涉及一種掩膜版定位確認裝置。 背景技術在對掩膜版進行加工的過程中需要將掩膜版裝在光刻機的工作平臺上，由 光刻機對掩膜版進行后續(xù)光刻操作，但是，目前沒有 一種工具在對裝在光刻機 工作平臺的掩膜版時進行對準確認，以使其掩膜版放置的位置符合設計要求。 在實踐操作中，如果掩膜版放置的位置不符合要求會使光刻機在掩膜版光刻位 置不符合設計要求，對位不準而光刻出的掩膜版若繼續(xù)進行后段工序的加工， 會導致廢品或次品的產生。實用新型內容本...
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