技術(shù)編號：2816262
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種通過輸出孔生成輸出輻射的方法。 本發(fā)明還涉及一種實(shí)現(xiàn)這種方法的設(shè)備以及包括所述設(shè)備的光刻裝置。 背景技術(shù)生成脈沖輻射的方法和設(shè)備是已知的。這些方法和設(shè)備例如用于在光敏晶片的光 刻范圍內(nèi)生成用于光鏈的輻射。這種光鏈包括 -脈沖源，生成期望波長范圍內(nèi)的輻射； _光學(xué)系統(tǒng)，從脈沖源接收輻射并且對其進(jìn)行處理(例如，通過使其瞄準(zhǔn)和/或使 其會聚)；-掩模，從光學(xué)系統(tǒng)接收輻射，僅允許透射圖樣前方的輻射射線通過，輻射的其余 部分被掩模阻止；以及-晶片，接收...
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