技術(shù)編號(hào)：2816547
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于影響光學(xué)元件中的溫度分布的方法、具有影響光學(xué)校正裝置中的溫度分布的熱致動(dòng)器的光學(xué)校正裝置。此外，本發(fā)明涉及包括依照本發(fā)明的光學(xué)元件的用 于半導(dǎo)體光刻的投射曝光設(shè)備或投射物鏡。背景技術(shù)在現(xiàn)代微光刻投射物鏡中，使用種類繁多的波前操縱器來(lái)校正光學(xué)像差。大多數(shù)操縱器通過(guò)光學(xué)元件的機(jī)械操縱器，借助于位置改變、或者借助于變形、或兩者的組合進(jìn)行波前校正。如已展示的，所述操縱器對(duì)低階波前像差具有卓越的校正特性，諸如當(dāng)使用結(jié)合所謂傳統(tǒng)設(shè)置的物鏡且達(dá)到近似120...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。