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一種單片集成微型透鏡及其制作方法技術資料下載

技術編號:2818784

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本發(fā)明涉及一種單片集成微型透鏡的制作方法,屬半導體微細加工。背景技術隨著光纖通信技術的飛速發(fā)展,不僅對高速、高性能的光電器件需求曰益 增強,而且對高耦合效率、小容差等系統(tǒng)性能也提出了更高的要求,而在發(fā)光 器件如發(fā)光二極管、激光二極管等出光面以及光接收器件如PIN光探測器、MSM 光探測器等入光面制作微型透鏡,可以較大幅度的提高光的耦合效率和改善耦 合容差,是一種非常有效的手段。目前,半導體光器件用透鏡主要分為兩類 一類是外配的,俗稱混合集成; 另外一類是在...
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