技術(shù)編號(hào)：2850359
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及準(zhǔn)分子燈及具備該準(zhǔn)分子燈的燈單元，特別涉及在準(zhǔn)分子 燈的端部具備燈保持部的準(zhǔn)分子燈及具備該準(zhǔn)分子燈的燈單元。背景技術(shù)在傳統(tǒng)工藝中，如專(zhuān)利文獻(xiàn)1所示，在半導(dǎo)體基板或液晶基板的制作 工序中，將清洗基板作為目的，使用具備照射真空紫外線的準(zhǔn)分子燈的燈 單元。圖20是表示從與現(xiàn)有技術(shù)的準(zhǔn)分子燈103的長(zhǎng)度方向正交的切剖面觀 看的紫外線照射裝置100的結(jié)構(gòu)的剖面圖，圖21是表示從圖20所示的E 一E切剖面觀看的紫外線照射裝置100的剖面圖。如這些圖所示，紫外...
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