技術(shù)編號(hào)：2850725
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開一種等離子體設(shè)備和工件位置檢測(cè)方法，該等離子體設(shè)備包括反應(yīng)腔體，以及位于反應(yīng)腔體之內(nèi)的靜電卡盤、頂針、和靜電電源，等離子體設(shè)備還包括傳感器、結(jié)果判斷單元、以及結(jié)果處理單元，其中，所述傳感器包括用于發(fā)送感測(cè)信號(hào)的發(fā)送模塊、以及與所述發(fā)送模塊對(duì)應(yīng)的接收模塊；所述結(jié)果判斷單元，用于根據(jù)傳感器的感測(cè)信號(hào)判斷所述工件是否被所述頂針正常頂起；所述結(jié)果處理單元，根據(jù)所述結(jié)果判斷單元的判斷結(jié)果執(zhí)行處理流程。通過(guò)本發(fā)明的等離子體設(shè)備和工件位置檢測(cè)方法，能夠在加工工...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。